日経クロステック
半導体レジストの新星「MOR」、ADEKAが材料 東エレクに米社挑む
半導体の製造に欠かせないフォトレジスト(感光材)に約30年ぶりの新顔が加わりそうだ。金属酸化物レジスト(MOR)と呼ぶ新型レジストの供給が2026年に始まる見通しで、韓国Samsung Electronics(サムスン電子)などが2026~27年に半導体の量産に導入する公算が高まった。
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