産総研、北海道にEUV使う先端半導体拠点　ラピダスなど活用

産総研は北海道千歳市に先端半導体の研究開発拠点を設け、2030年3月期をめどに稼働させる。次世代EUV（極端紫外線）露光装置を導入し、千歳市に半導体工場を持つRapidus（ラピダス、東京・千代田）などによる利用を見込む。